半導(dǎo)體行業(yè)光刻機(jī)機(jī)臺(tái)的振動(dòng)問題-Viber X5

光刻機(jī)一般分為步進(jìn)投影和掃描投影光刻機(jī)兩種，精度為七納米至幾微米之間，高端光刻機(jī)是世界上最精密的儀器，對(duì)振動(dòng)的要求非常高。瑞典VMI viber-x5振動(dòng)分析儀所采用的振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)為VC微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)，VC微振動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)分為：VC-A、 VC-B、 VC-C、 VC-D、 VC-E、 VC-F、VC-G。對(duì)于潔凈室的光刻機(jī)設(shè)備的振動(dòng)要求機(jī)臺(tái)振動(dòng)必須滿足CV-D 6.25um/s RMS以下。全球最知名的光刻機(jī)制造商荷蘭ASML要求潔凈室的樓板及機(jī)臺(tái)振動(dòng)必須符合VC-D標(biāo)準(zhǔn)才能實(shí)施裝機(jī)，某知名半導(dǎo)體制造商使用瑞典VMI viber-x5振動(dòng)分析儀進(jìn)行潔凈室的現(xiàn)場(chǎng)數(shù)據(jù)采集，發(fā)現(xiàn)潔凈室樓板的振幅只能滿足VC-C12.5um/s RMS，無法滿足CV-D 6.25um/s RMS。通過瑞典VMI viber-x5振動(dòng)分析儀的頻譜分析功能，發(fā)現(xiàn)了振動(dòng)超標(biāo)的頻率并成功找到振動(dòng)源，經(jīng)過瑞典VMI振動(dòng)分析師的協(xié)助成功的解決了潔凈室樓板振動(dòng)。